반응형 오로스테크놀로지5 반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 1편-산업의 이해 ■ Process Control (공정 제어) Process Control (공정 제어)이란 크게 Inspection (검사), Metrology (계측), Review로 이루어져 있다. 반도체 제작 과정 중간중간에 개입해 검사, 계측, 리뷰 등의 업무를 수행하여 결함을 검출, 검사하여 사전에 불량을 예방하여 품질을 높이는 공정이다. 반도체 제조 환경 내 수율 적용의 전체 범위를 다루고 있는 공정이기에 점차 중요성이 부각되고 있다. 반도체에 대한 기술 전환이 어려워질수록 Defect (결함)에 대한 이슈는 커질 것이고, 이에 대한 inpection과 Metrology 니즈는 지속 증가하는 방향성은 분명하다. 미세화와 고단화 기술 변화 속, 지속적으로 파티클이나 defect에 대한 검출 및 Review .. 2022. 12. 14. 이전 1 2 다음 반응형
