반응형 오션브릿지 실적1 오션브릿지 Araboza ■기업 개요 1)반도체 공정 소재 사업, 2)반도체 장비(C.C.S.S 등) 사업을 전개 동사가 주로 공급하는 전구체는 HCDS, TiCl4, BDEAS 등이다. 각각 적합하게 어울리는 공정은 다르다. HCDS는 저온 공정, TiCl4 누설 전류 방지 공정, BDEAS 더블패터닝 공정에 적합 가스류도 공급하고 있으며 주력 제품은 Si2H6(디실란) Si2H6(디실란)은 반도체 제조 공정 중 확산 공정 및 화학 기상 증착에 사용되는 가스 반도체의 미세화로 인해 기존의 모노실레인(SiH4) 가스를 적용할 수 없는 공정에 실리콘 박막 증착으로 사용되는 가스 소재이다. Si2H6(디실란)은 모노실레인(SiH4) 대비 반응 온도, 증착 속도, 접촉면의 거칠기 등에서 탁월한 성능을 보이는 가스 반도체 장비 사업은 .. 2023. 2. 14. 이전 1 다음 반응형
