오로스테크놀로지 -반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 5편

■ 오로스테크놀로지 투자 포인트

①노광 장비와 연동해 수요 증가하는 Overlay 계측(측정) 장비

②고객사 다변화

③신규 장비(박막 두께 측정 장비) 출시에 따른 매출 성장

■ 리스크 요인

주요 고객사 SK하이닉스 설비투자 축소
→고객사 다변화로 실적 변동성 완화 필요

---

■ 산업 분석

 

반도체 공정용 Overlay 계측(측정) 장비는 

반도체 공정상 미세한 회로 패턴이 수없이 적층되는 과정에서
하부 패턴과 상부 패턴 간의 정렬 상태를 정밀하게 측정하는 장비다.

반도체 DRAM의 회로 선폭이 14나노 미터급으로 좁아지는 등 미세화 공정이 심화됨에 따라 요구 기술력이 급격히 높아져 오로스테크놀로지와 미국 KLA가 관련 장비를 공급하고 있다.

오로스테크놀로지가 상대적으로 후발 주자
미세화 공정이 심화됨에 따라 관련 장비 기술의 기술장벽이 급격히 높아지는 추세

오버레이 계측 장비 시장은 역성장하지 않고 2023년과 2024년에 꾸준히 성장할 것으로 전망
반도체 미세화 진행에 따라 회로의 선폭이 점점 좁아지는 와중에 계측 장비가 제대로 역할을 해주지 않으면
노광 및 식각 공정을 의도했던 대로 전개하기 어렵기 때문이다.

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

이러한 흐름은 오버레이 계측 장비 공급사 KLA의 최근 실적을 통해서도 확인할 수 있다.

2015년까지 연간 매출이 3조원 수준에 머물렀으나,

반도체 기술에서 미세공정 전환이 10 나노미터급 수준까지 진행되면서 연간 매출 앞자리가 바뀌었다.

2021년에는 11조원을 상회하는 매출을 기록

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

▶웨이퍼 수율 향상에 기여하는 한국 반도체 장비 기업들

①오로스테크놀로지
반도체 노광 공정용 장비 중에서
오정렬 측정 장비(Overlay System)를 주력 사업으로 영위

②넥스틴
웨이퍼 패턴 결함 검사 장비 제조 및 판매 업체

③HPSP
고압 열처리용 반도체 장비 제조 사업 영위
전 세계에서 저온 고압 수소 어닐링 장비를 생산하는 유일한 기업​

④파크시스템스
AFM(원자현미경) 개발 및 생산, 판매하는 업체

⑤저스템
웨이퍼 이송 용기에 집소 주입해 표면 습도를 5% 이하로 떨어뜨리는 솔루션 제공
웨이퍼에 의도하지 않았던 불순물이 발생하지 않도록 기여

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

---

■ 기업 개요

 

반도체 노광 공정용 장비 중에서
오정렬 측정 장비(Overlay System)를 주력 사업으로 영위한다.

Overlay 계측 관련 원천기술을 다수 보유하고 있다.
Overlay 계측(측정) 장비는 

반도체 공정상 미세화 회로 패턴이 수없이 적층되는 과정에서 
하부 패턴과 상부 패턴 간의 정렬 상태를 정밀하게 계측하는 장비다.

미세화 공정이 심화됨에 따라 요구 기술력이 급격히 높아졌다.

 

전공정 중 노광공정에 사용되는

IBO(Image Based Overlay) 방식의 오버레이 장비를 공급

오버레이 장비는 노광공정의 오정렬 측정값을 도출하고

노광장비에 피드백을 준다.

오정렬이 발생하면 포토레지스트를 스트립하고

다시 노광을 진행할 수 있도록 하는 것이다.

노광장비와 오버레이 장비는 함께 사용되는 구조

노광장비 판매대수가 증가하면 오버레이 장비 수요도 같이 증가

 

IBO 방식의 오버레이 장비는 미국의 KLA가 독점하던 시장

동사가 국내 최초로 국산화 성공

 

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

 

12인치 오버레이 장비 신모델(OL-1000n)에 대한 연구개발을 진행 중

23년 하반기 출시 예정, 24년부터 본격적 매출을 예상

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

오버레이 계측장비는 MI(Metrology & Inspection) 룸이 아닌 노광룸에 들어가는 것으로 파악된다.
계측 방식은 IBO 방식과 DBO 방식이 있다.
IBO 방식은 이미지 베이스, DBO 방식은 회절 베이스로 계측

3D 낸드 분야에서는 특히 IBO 방식이 주를 이루고 있으며 Overlay 시장에서의 약 70~80% 수준은 IBO가 차지
오로스테크놀로지는 IBO 시장에서 국산화를 바탕으로 점유율 확대해 나가는 중이다.

출처: 삼성증권

동사 대주주는 에프에스티
에프에스티 자회사 중에서 동사가 유일한 상장 기업이다.

출처: 동사 22년 3분기 보고서

SK하이닉스 위주의 고객사 포트폴리오를 탈피해 

삼성전자, 중국 현지 반도체 제조사로 고객사 다변화 시도 중이다.
2021년 7월 미국 법인 AUROS Technology USA, Inc.를 설립
비슷한 시기 중국 법인 Auros Tech (Wuxi) Co., Ltd. 도 설립
→해외 고객사 다변화하기 위해 노력 중

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

Thin-film(박막 두께)를 측정하는 신규 장비 개발 중
오버레이 장비는 수직 방향에서 내려다봤을 때
X축과 Y축의 정렬도를 제어하는 장비
신규 장비는 이미 형성된 박막의 두께를 측정 (Z축 관점에서 계측)
신규 장비의 적용 범위는 식각 공정, 증착 공정, 평탄화 공정 등으로 다양하다.
2022년 말까지 제품개발을 목표로 진행 중이다.

임직원수는 IPO 당시 86명
2022년 상반기 보고서 기준 154명, 중국 및 미국 법인을 포함하면 전체 인원은 170명 수준으로 짐작
IPO 당시 연간 매출 200억원 내외 수준이 손익분기점
영업 담당 및 신규 제품 개발 담당 인원이 증가하였다.
현재 인원 기준으로는 연간 매출이 400억원을 크게 상회해야 영업이익 시현이 가능한 것으로 추정된다.

출처: 한국IR협의회 기업리서치센터

---

2022-12-14 기준 동사 주가 차트

기술적 분석 관점에서 저항선을 돌파

거래량을 동반한 저항선 돌파→상승 추세 전환되었다고 판단한다.

 

 

23년 매출액은 22년 대비 소폭 성장

영업이익은 흑자전환할 것으로 전망

분기별 매출은 상저하고 흐름을 보일 것으로 예상

 

1. 국내외 비메모리 업체, 차량용 반도체 업체향 8인치 오버레이 장비 공급 가능성

 

2. 패키지 오버레이 장비 매출이 소량 발생할 것으로 예상

---

https://arabozaeverything.tistory.com/5

반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 1편-산업의 이해

https://arabozaeverything.tistory.com/8

넥스틴-반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 3편

https://arabozaeverything.tistory.com/7

KLA-반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 2편

https://arabozaeverything.tistory.com/9

파크시스템스-반도체 Process Control (공정 제어)를 알아보자 4편

https://kmong.com/self-marketing/456650/saASivZIOe

반도체 실전 투자 노트 | 16000원부터 시작 가능한 총 평점 0점의 전자책, 투잡·재테크 전자책 서