■ 기업 개요
반도체 습도 제어 솔루션 사업 영위
국내외 IDM 업체 점유율 1위
특허수 89건 확보
세계최초 기류제어 시스템 개발(JFS)
습도 제어 솔루션은 왜 필요할까?
반도체 공정 미세화에 따른 고습도 환경 기인으로 수율 감소
습도로 인한 소자 부식과 손실 발생
선폭이 미세해질수록 치명적이기에 새로운 저습도 관리 솔루션 필요성 대두
웨이퍼 습도 제어를 통해 이물성/반응성 Defect 차단 →수율 개선
▶주요 제품
1. LPM N2 Purge System
※LPM(Load Port Module)
반도체 제조용 웨이퍼를 담아두는
FOUP 도어를 열거나 닫으면서 웨이퍼가 반송될 수 있도록 해주는 장치
N2 Purge System는 웨이퍼 이송 용기에 질소를 주입하여 웨이퍼 표면 습도를 5% 이하로 떨어뜨리는 솔루션
반도체 웨이퍼 이송 및 보관을 위해 LPM에 핵심 기술인 노즐을 장착 및 개조
(원천기술: N2 치환 및 기류제어를 통한 습도 관리)
Foup(웨이퍼가 담기는 통) 내부 환경 제어를 통해 웨이퍼 품질 및 신뢰성 상승
기존 LPM 습도 45% →N2 Purge System 습도 5~30%
기존 LPM 교체보다 구축 비용은 저렴, 구축 기간은 짧다.
2.CFB(Contamination Free Buffer)
반도체 생산장비 EFEM의 좌, 우측에 설치되는 장치
식각 공정 전/후 잔여 가스 등으로 인한 불량을 방지하기 위해 개발된 설비
FOUP 하부에 EFEM으로부터 유입되는 고습도 기류 차단으로 상시 저습도로 제어 해준다.
반도체 Fab 투자에 의한 수혜
신규 수주 후 빠른 매출 전환율
→수주 후 매출인식 소요기간은 약 6주
▶고객사
반도체:
IDM 기업들(삼성전자, SK하이닉스, 마이크론), HPSP
디스플레이:
LG디스플레이
2차전지:
LG에너지솔루션
태양광:
한화솔루션
반도체 사업부문 매출 비중이 94.6% (2021년 연간 매출액 기준)
핵심 공정 기술 기반으로 첨단 산업 분야로 영역 확장이 필요하다.
→디스플레이, 태양광, 2차전지, 바이오 등
디스플레이:
OLED 시장 수율 개선 필요성 증대로 공정 및 설계기술 기반 시장 진출
①대면적 고진공 환경용 제조 장치
22년 상반기 주요 디스플레이 업체향 6GH 매출 발생 시작
②OLED 고진공 이오나이저
OLED 불량을 유발하는 정전기 제거 장비
2023년 양산평가 및 상용화 전망
2차전지:
소재 열처리 장비
2차전지 방열소재 및 분리막 소재로 사용되는 세라믹 파우더 열처리 시스템
| 구분 | 2019년 | 2020년 | 2021년 |
| 매출액 | 320억원 | 456억원 | 448억원 |
| 영업이익 | 53억원 | 78억원 | 72억원 |
| 영업이익률 | 16.6% | 17.1% | 16.1% |
| 당기순이익 | 42억원 | 54억원 | 57억원 |
3년 평균 영업이익률 16.71% (2019~2021년)
상장 주식수: 7,072,225
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