기업 개요
동사는 원자현미경(AFM)을 주력하는 나노계측기기 전문 기업
AFM의 미세한 탐침을 샘플에 원자 단위의 미세한 크기까지 근접시키면
작용되는 원자 간의 힘을 측정하여 표면의 원자 구조와 형태를 측정
전자현미경(SEM) 대비 높은 해상도(0.01nm)의 측정이 가능하며
환경의 제약 없이 사용 가능하다는 장점이 있다.
▶AFM 핵심기술력 보유
①비접촉식 모드
시료에 손상을 주지 않고도 높은 분해능과
데이터의 정확성을 계속할 수 있게 해준다.
②독립적 XY, Z 축 스캐너
시료 형상을 3차원적으로 인식하게 되어
정확한 나노 해상도 데이터 얻을 수 있다.
③자체 OS
자체 OS를 탑재하여 사용자 편의성 제공이라는 측면에서 우수하다.
반도체(매년 30%가량 성장 기대) 위주의
산업용 AFM 시장에서는 동사가 80%가량 점유
→독점에 가까운 기업, 가격 전가력 있음
주요 경쟁사인 브르커는 바이오, 엑스레이 장비에 특화
반도체 FAB 당 전자현미경 평균 20대 배치
AFM은 현재 2대 정도 들어간다.
초미세화 공정 도입, EUV 파티클 이슈, GAA 같은
새로운 트랜지스터 구조 도입에 따라 AFM 수요 더욱 증가할 전망
AFM은 Mask Defect, Patterned Wafer Defect 등을 측정한다.
CMP Process, Narrow Trench Structure, Fin/Gate Process 이후의 계측에 유용하게 이용된다.
▶ 주요 장비
-NX-Wafer
-NX-Mask
-NX-Hybrid WLI
-NX-TSH
-FX40 (연구용)
①NX-Wafer:
동사의 주력 제품
웨이퍼 상 나노 단위의 결함을 자동 검출, 분석하는 장비
반도체 공정 미세화로 수요 증가
②NX-Mask:
TSMC 요청으로 EUV 마스크 표면의 오염물질을 제거하는 NX-Mask 장비를 개발
나노 계측을 통해 비접촉 방식으로 마스크 파티클을 효과적으로 제거 가능
원가절감과 수율 향상에 기여할 수 있다.
EUV 블랭크 마스크 1위 업체인 일본 Hoya에 장비를 납품
EUV 펠리클 상용화가 될 경우 NX-MAK 장비 수요 감소에 대한 우려도 존재
펠리클을 자체 개발한 TSMC가 마스크 리페어 장비
NX-Mask 장비 개발을 요청한 만큼
펠리클 상용화 후에도 장비 수요가 지속될 것으로 전망
EUV용 펠리클과 상호 보완적으로 마스크 리페어 장비 사용될 것으로 판단
③NX-Hybrid WLI:
기존에 반도체 후공정 3D 측정에 사용되던
WLI(White Light Interferometry)와 AFM의 장점을 통합한 신장비
AFM의 각 기술 단점을 보완하여
반도체 후공정 및 패키지뿐만 아니라, 반도체 전공정에도 적용, 나노 구조물을 빠르고 정밀하게 측정 가능
(넓은 범위를 빠르게 찍어내면서, 동시에 3차원 정밀한 구조 측정)
Hybrid Bonding에서 활용 가치가 높다고 판단
하이브리드 본딩 시, 웨이퍼 단계에서 칩 간 연결을 위해
Via 패턴을 에칭하고
공정 상 전극 연결을 위해 구리 패드를 형성한다.
구리 패드 피치의 너비는 10um 수준으로 미세화된다.
미세 피치 환경 속, 3D 계측과 1nm 단위 정밀 측정이
가능한 하이브리드 WLI 장비 가치 부각 받을 수 있다.
원래 후공정 패키징에 사용될 것이라고 봤는데 전공정에서도 활용 가능
④NX-TSH:
디스플레이 대면적 샘플을 측정
⑤NX-IR R300:
AFM 원천기술 기반으로 반도체 화학성분 적외선 검사에 활용
바이오의 경우 아직 분자 단계 연구라서 AFM 수요 없음
산업용 AFM의 경우, 연초(1~2월)에 수주가 몰리는 경향이 있다.
주요 수요처 중 하나인 중화권 반도체 업체들의 경우
연초에 장비를 구매 시, 세제 혜택 등을 누릴 수 있어 연초에 오더를 강하게 하는 경향이 존재
산업용 AFM의 리드타임이 6개월 내외라는 점을 고려 시,
연초에 수주를 많이 받다 보면, 장비 출고 스케줄은 하반기에 몰리는 경향성이 나타날 가능성이 높다.
따라서 극명한 상저하고 실적 흐름을 보인다.
중국 쪽으로 나가는 대부분의 장비는 NX-Wafer 장비, 마스크 장비도 나간 적 있음
산업용 AFM은 소음 등 주변 환경에 민감하다.
원활한 활용을 위해선 고객사 내 자체적 환경 마련이 필요하다.
이러한 환경 구축에 딜레이 발생 시, AFM의 출고 역시 자연스레 딜레이 되는 경향이 존재
독일 아큐리온 인수
ISE(이미지 타원 분광) 기술력 글로벌 탑 업체
ISE는 빛을 확산시켜 알고리즘을 계산하여 박막 두께를 계산하는 것이 장점이다.
이를 통해 넓은 영역을 빠르게 스캔할 수 있고, 표면분석과 두께 측정을 쉽게 할 수 있다.
동사의 AFM 기술과 아큐리온의 ISE 기술을 접목하여 향후 어플리케이션 확장이 기대된다.
전체 매출의 80% 이상을 해외에서 발생
<지역별 매출 비중>
-중국 40%
-대만 15%
-국내 14%
<제품별 매출 구성(2022년 기준>
-산업용 제품 68%
-연구용 제품 28%
-기타 서비스 매출 4%
22년 말 수주 잔고는 약 437억원
제품군별 수주 잔고 비율 (산업용 73%, 연구용 제품 24%)
수주 잔고는 2023년 상반기 매출액 계절성 완화에 도움이 될 것으로 기대
동사 장비 생산 능력은 연 매출 1,500억 원 수준이다.
대부분 국내 외주 가공을 통해 본사에서 조립만 하기 때문에 공급망 이슈는 없다.
수주 이후 출고까지 리드타임은 3~6개월 정도 소요된다.
수주 증가를 대비해 과천에 7~8백억원을 투자해 신사옥 신축 중
2022년 말 착공하면 2025년 완공 예정
신사옥 이전할 경우 생산능력은 연 매출 3,000억원 규모가 될 전망이다.
■ 23F 실적
매출액 1,558억원
영업이익 434억원
OPM 27.9%
순이익 383억원
EPS 5,515원
로직 5nm 이하, DRAM 14nm 이하 공정에서
AFM 관측이 필요한 공정이 확대되며 장비 수주 및 납품이 증가
기존 주력 제품 NX-Wafer 대비 1.5배~2배 가까이 높은 단가의 신제품들
-NX-Mask
-NX-Hybrid WLI
그간 극심한 상저하고 실적 흐름을 보였는데,
신제품들을 통해 상저하고 실적 패턴을 완화시킬 수 있을 것으로 판단
시가총액 ÷ 23F 순이익(383억원)
=25.05
23F EPS(5,515원) × 30
=165,450원
파크시스템스-2022 Review
■2022년 잠정 실적 매출액 1,221억원 (+43.1% YoY) 영업이익 312억원 (+77.3% YoY) 영업이익률 25.6% 동사는 연평균 30% 매출 성장을 지속 고부가가치 제품 공급을 통해 65% 이상 GPM(매출총이익률) 20% 이상의 O
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파크시스템스-4Q22 Review
■ 4Q22 Review 매출액 508억원 (+40.8% YoY) 영업이익 170억원 (+36.9% YoY) OPM 33.5% 순이익 144억원 (+219.2% YoY) 기존 AFM 출고 정상적으로 이루어졌다. 일본 마스크 업체향 EUV 마스크 리페어 장비 1대에 대한 매
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